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光谱检测分析仪
简易取样装置(Smart Tech)
jascoRFT-6000傅立叶变换红外拉曼光谱仪
jasco红外显微镜(IRT-5200)
jasco,真空紫外复曲折率计(BRV-100)
jasco,膜厚测定系统(UTS-2000)
MSV-5000显微紫外可见近红外分光光度计
自jasco,自动绝对反射率测量系统ARMV734/735
jasco,椭圆率计
jasco,NFS series,近接场光学显微分光系统
jasco紫外线油循环计NUVOM-2a
色谱仪
JASCO高效色谱仪LC-4000
JASCO SFC4000超临界流体色谱仪
光学仪器及设备
JASCO红外显微镜IRT-7200
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产品描述
▼概要美国国家标准技术研究所(National Institute of Standards and Technology)NIST发表了CaF2等的氟化物双折射对于实现光刻的高解像度是很大的障碍。现在虽然确立了补偿方法,克服这种问题,但是为验证这个方法是否可行,需要用到在真空紫外波长区域具有高灵敏度的双折射计。本装置是日本分光多年来积累的偏光测定技术在真空紫外领域的扩展,高灵敏度双折射测量的解决方案。根据偏光变调法,在真空紫外波长区域进行氟化物等的双折射测量。为排除氧以及水的吸收所有的光路都进行氮气吹扫。
◆规格
▼BRV-100
BRV-100 | |
波长范围 | 140nm~320nm |
光刻灵敏度 | 0.05nm(157nm) |
稳定性 | 1count/h(157nm) |
检测下限 | 0.17 nm(157nm) |