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光谱检测分析仪
简易取样装置(Smart Tech)
jascoRFT-6000傅立叶变换红外拉曼光谱仪
jasco红外显微镜(IRT-5200)
jasco,真空紫外复曲折率计(BRV-100)
jasco,膜厚测定系统(UTS-2000)
MSV-5000显微紫外可见近红外分光光度计
自jasco,自动绝对反射率测量系统ARMV734/735
jasco,椭圆率计
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jasco紫外线油循环计NUVOM-2a
色谱仪
JASCO高效色谱仪LC-4000
JASCO SFC4000超临界流体色谱仪
光学仪器及设备
JASCO红外显微镜IRT-7200
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产品系列
产品描述
日本分光制的椭圆计配有日本分光**产的PEM双重锁定方式和光伺服?光参考方式,实现高速性和高安定性。由于偏光素子的轴配置适合特别薄的膜和微小的偏光测量,所以主要用于向高集积化和高精细化发展的半导体及高机能光学薄膜等材料的评价。
◆规格
型号 | M-210 | M-220 | M-230 | M-240 | M-550 | ELC-300 |
测量方法 | PEM双重锁定方式、光伺服/光参照控制方式 | |||||
分光器 | - | 双单色器自动波长驱动装置 | 双单色器 (260~900nm)单单色器 (900~1700nm)自动波长驱动装置 | 单单色器自动波长驱动装置 | 双单色器自动波长驱动装置 | |
测量波长 | He-Ne激光 (632.8nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260~860nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (240~700nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (26~900nm)卤素灯 (900~1700nm) | Xe光源 (350~800nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260~860nm) |
入射 角范围 | 40゜~ 90゜连续自动设定(0.01゜间隔) | 45゜~ 90゜连续自动设定(0.01゜间隔) | 40゜~ 90゜连续自动设定(0.01゜间隔) | |||
膜厚测量范围 | 0~99999? | |||||
测量时间 | 1msec以上 | 20μsec~16sec | ||||
测量准确度* | 屈折率 ±0.01 | |||||
膜厚 ±1? | ||||||
消衰係数 ±0.01 | ||||||
*准确度是指测量时间100msec以上。另外、根据表面状态、膜质不同准确度也不同。 | ||||||
样品室 | 样品垂直放 | 样品水平放 | 样品垂直放 | |||
检测器 | 检光子(Glan-Taylor棱镜)紫外可见区域:光电子倍増管 近红外区域:InGaAs-PIN光电二极管(M-240) |